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仪器详细信息
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仪器型号
制造商
仪器规格
技术指标
测量尺寸:2~8寸晶圆 ﹡测量速度:大于49点/分钟 ﹡测量范围:1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1 ﹡测量重复性:≤±0.02% ﹡精确度:<0.1%
功能描述
测薄膜的导电性
应用范围
玻璃、硅片等镀膜材料
收费方式