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仪器详细信息
中文名称
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仪器型号
制造商
仪器规格
技术指标
垂直扫描范围90um，垂直扫描分辨率1pm，干涉物镜5×、 20×、100×
功能描述
以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对材料表面3D图像进行数据处理与分析。可快速测量表面轮廓、表面形貌、粗糙度、台阶高度、微结构和其他表面参数
应用范围
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
收费方式