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仪器详细信息
中文名称
英文名称
仪器型号
制造商
仪器规格
技术指标
曝光面积:4 英寸 曝光波长:365nm 分辨力:0.8m
功能描述
紫外光刻蚀
应用范围
器件微加工
收费方式