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仪器详细信息
中文名称
英文名称
仪器型号
制造商
仪器规格
技术指标
最高真空度为1×10-10 mbar；SPM腔变温范围：70K-500K；
功能描述
MBE腔变温范围为140K-800K。UHN-VT-SPM-MBE系统配备了Auger和LEED检测仪器，可以对样品进行形貌观察，SPM腔和气氛控制腔配备了特制的6电极联接装置，可在超高真空下的纳米器运输性质测量。MBE腔适合多样品制备。
应用范围
STM表征、高真空样品制备
收费方式